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ロボット(ウエハ 搬送) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

自社製DDモーターを採用し、高精度&高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

  • 搬送・ハンドリングロボット

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HIWINウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】

全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】

自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

  • 搬送・ハンドリングロボット

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